AMI Silitrace Ultra. Новый анализатор компании SWAN.
Запуск производства нового автоматического анализатора следовых количеств кремниевой кислоты для сверхчистой воды AMI Silitrace Ultra.
AMI Silitrace Ultra – это уникальный анализатор, который расширяет привычные представления о пределах обнаружения и погрешностях анализаторов кремниевой кислоты:
Диапазон измерений*: 5 нанограмм (0,005 мкг/дм3) — 25 мкг/дм3
Воспроизводимость измерений*: ± 0.005 мкг/дм3 или ± 5% от измеренного значения
*в пересчете на SiO2
Подобные характеристики достигаются благодаря использованию разработанного совместно с корпорацией Intel метода концентрирования сверхчистой воды с помощью системы обратного осмоса.
Достоверность измерений обеспечивается встроенной системой самодиагностики: непрерывным мониторингом расхода пробы, температуры в реакционной камере, расхода реагентов с сигнализацией о выходе их значений за допустимые пределы
Анализатор AMI Silitrace Ultra – это единственный в своем роде автоматический анализатор кремниевой кислоты, который дает возможность оперативного контроля с точностью ранее доступной только при лабораторном анализе. Это делает его незаменимым на установках ВПУ сверхчистой деионизованной воды для микроэлектроники, отвечающей требованиям стандартов ASTM D5127 и SEMI F63.